Cromatografia agli ioni di elio per analisi del tetraclorosilane-Fornitore globale

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Cromatografia agli ioni di elio per analisi del tetraclorosilane

Gli strumenti sono dotati di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, utilizzando la tecnologia di taglio centrale di Huawei, le valv

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Cromatografia agli ioni di elio per l'analisi del tetraclorosilanoApplicabile alla rilevazione delle tracce di impurità nei gas utilizzati nell'industria elettronica, la piccola concentrazione di rilevamento può raggiungere 5 ppb. Gli strumenti sono dotati di rilevatori di ionizzazione dell'elio ad alta sensibilità, utilizzando la tecnologia di taglio centrale di Huawei, le valvole di campionamento sono dotate di un percorso di protezione dell'aria; L'intera macchina è progettata con più colonne e dotata di un sistema di correzione automatica della pressione di campionamento per garantire la quantità di campionamento dei campioni di diversi gas sottostanti. I prodotti sono stati premiati con il progetto di trasformazione di livello A per i risultati di alta tecnologia di Shanghai.

Silicio (SiHCl)₃Contenuto (Frazione di volume) / l0^-6≤		400	25
Diclorosilano (SiH)₂Cl₂Contenuto (Frazione di volume) / l0^-6≤		400	25
Metil diclorosilano (SiCl)₂CH₄Contenuto (Frazione di volume) / l0^-6≤		200	50
Contenuto di metalli e altri elementi	Contenuto di (boro + alluminio) (B + Al) / (µg / kg) ≤	——	0.1
	Contenuto di (fosforo + arsenico) (P + As) / (µg / kg) ≤	——	0.3
	Contenuto di gallio (Ga)/(µg/kg) ≤	——	0.5
	Antimonio (Sb) /(µg/kg) ≤	——	0.5
	Contenuto di indio (in) / (µg/kg) ≤	——	0.5
	Contenuto di calcio (Ca)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di cromo (Cr)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di ferro (Fe)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di potassio (K)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di sodio (Na)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di nichel (Ni)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di molibdeno (Mo) / (µg / kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di manganese (Mn) / (µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di rame (Cu)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di cadmio (Cd)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di cobalto (Co)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di zinco (Zn)/(µg/kg) ≤	1	0.5
	Contenuto di vanadio (V)/(µg/kg) ≤	1	0.5

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